摘要：纳米图案对硅氮化物膜的声学特性产生影响：一种人工各向异性弹性材料的引入
作者：G. Conte, L. Vicarelli, S. Zanotto and A. Pitanti
论文ID：2202.13705
分类：Applied Physics
分类简称：physics.app-ph
提交时间：2023-06-26
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