利用喷雾热解法增强WO₃薄膜的电学性能和Seebeck效应：关于导电性和载流子类型的洞察
摘要：用喷雾热分解技术改善三氧化钨（WO3）薄膜的电学和热电性能。用不同的沉积速率（R1 = 1 mL/min，R2 = 3 mL/min，R3 = 7 mL/min）在玻璃衬底上沉积膜，制备了三个样品，即A1、A2和A3。随后，在空气中以500°C的温度进行2小时的退火。对WO3薄膜的结构、形貌、光学和电学性质进行了详细研究。FE-SEM图像显示形成了不同直径的圆形串状物质层。每个串的直径随沉积速率的增加而减小。XRD结构分析表明，在退火前，样品R1呈现多晶性，具有混合的四方-六角相，而其他两个样品则是无定形的。退火后，A3样品也变为多晶。此外，紫外-可见光谱分析表明，膜层的禁带随着喷雾速率的增加而单调下降，可能归因于量子限制效应的衰减。塞贝克效应被用来确认WO3层的n型导电性，因为塞贝克效应和导电性之间存在直接联系。此外，电流-电压变化与氧空位位点一致。值得注意的是，具有最高沉积速率的A3样品表现出最低的电阻率。
作者：Zahra Asghari, Hamid Arian Zad, Hosein Eshghi
论文ID：1909.13358
分类：Applied Physics
分类简称：physics.app-ph
提交时间：2023-07-11