标准单元的光刻友好性自动检测系统
摘要：标准单元在物理布局中可以存在光刻弱点，即使布局通过设计规则检查（DRC）。物理布局中存在光刻弱点会导致制造问题，进而导致产量损失。在我们的实验中，我们发现特定的标准单元在进行放置和布线之后会产生光刻弱点，尽管每个标准单元在进行放置和布线之前都不含有光刻弱点。此外，我们的实验表明相邻的标准单元实例可以引发光刻弱点。因此，在本文中，我们提出了一种用于在上述光刻问题方面检查标准单元的新型软件系统的方法。具体而言，该软件系统能够检测和排序易于产生光刻弱点的问题标准单元，并报告不应相邻的标准单元。本文提出的方法使我们能够在设计数字集成电路的物理综合阶段减少甚至预防不良光刻弱点的生成。
作者：I-Lun Tseng and Yongfu Li and Valerio Perez and Vikas Tripathi and Zhao Chuan Lee and Jonathan Yoong Seang Ong
论文ID：1810.01446
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2018-10-04