使用Synopsys工具创建和修复光刻热点
摘要：利用图案匹配技术来检测光刻热点已经在先进工艺节点中得到应用，这可以影响制造集成电路的产量。尽管商业化的图案匹配和设计中的热点修复工具已经开发出来，工程师们仍然需要验证特定的热点图案在布局设计中是否可以被软件工具检测或修复。因此，有必要通过使用自动布局和布线工具来创建测试用例，以通过APR来生成布线布局中的目标热点图案。在本文中，我们提出了一种使用Synopsys工具在布线空间中创建热点图案的方法，并提出了在物理设计阶段修复热点的方法。通过使用所提出的热点创建方法，我们可以生成包含目标热点图案的布线设计。因此，可以验证热点检测规则、热点修复指南规则和相关软件工具功能的有效性。
作者：I-Lun Tseng, Valerio Perez, Yongfu Li, Zhao Chuan Lee, Vikas Tripathi, and Jonathan Yoong Seang Ong
论文ID：1808.05998
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2018-08-21