基于紫外光发光二极管的显微投影光刻技术
摘要：用紫外(UV)发光二极管(LED)作为光源，我们改装了传统的显微镜进行投影光刻。使用UV LED为显微镜投影仪提供了紧凑和经济方面的优势。经过改装的显微镜在最佳光刻条件下，能够产生宽度为5um的线性图案，使用4倍物镜。获得的线宽接近衍射极限，这意味着可以使用更高分辨率的光罩和更高放大倍率的物镜进一步减小线宽。我们预计未来基于UV LED的低成本显微投影光刻将对物理教育或化学和生物学等各个研究领域做出贡献。
作者：Minjae Kwon and Young-Gu Ju
论文ID：1806.08718
分类：Physics Education
分类简称：physics.ed-ph
提交时间：2022-03-23