基于曲线微机械梁的快速检测流量传感器
摘要：基于静电驱动和双稳微机械梁的快速检测技术，我们报告了一种流速测量技术。我们展示了诱导的电热焦耳加热和对流空气冷却如何改变梁曲率以及临界翻转电压（$V_{ST}$）。通过使用单晶硅梁，我们证明了翻转电压与流速的敏感性为$dV_{ST}/du \approx 0.13$ V s m$^{-1}$，功耗为约360 μW。我们的实验结果与简化的耦合热电机械模型预测一致。我们预计，曲线型微机械梁中的静电诱导快速翻转将为自主应用和环境传感器的缩小设计和实施开辟新的方向。
作者：Yoav Kessler, Robert Ilic, Slava Krylov and Alex Liberzon
论文ID：1806.05396
分类：Applied Physics
分类简称：physics.app-ph
提交时间：2018-06-15