零群速声波导用于高频谐振器
摘要：硅-绝缘层上采用方法研究了Lamb样式模式在支撑的AlN薄层结构中的传播，以利用内在的零群速度 (ZGV) 特性设计不需要金属条栅或悬臂边缘来限制声能的电声谐振器。探究了SOI/AlN复合板中的ZGV谐振条件，即模式群速度为零而相速度保持有限的频率，在几百兆赫范围内到1900兆赫。发现了一些ZGV点，主要出现在低阶模式中。在-30至220摄氏度的温度范围内研究了这些点的热行为，并估计了ZGV谐振频率的温度系数 (TCF)。在设备表面被覆盖有能够选择性吸附二氯甲烷 (CH2Cl2)、三氯甲烷 (CHCl3)、四氯化碳 (CCl4)、四氯乙烯 (C2Cl4) 和三氯乙烯 (C2HCl3) 的聚异丁烯 (PIB) 薄膜的假设下，研究了作为气体传感器的ZGV谐振器的性能。在大气压和室温下，理论估计了这种气体传感器对空气中气体浓度的敏感度，针对不均匀板的前四个ZGV点。理论上证明了基于SOI和压电薄膜技术的高频率、低温度系数的电声微型谐振器的可行性。
作者：C. Caliendo and M. Hamidullah
论文ID：1805.06251
分类：Applied Physics
分类简称：physics.app-ph
提交时间：2018-05-17