紧凑磁性电感器、变压器和谐振器的卷起自组装
摘要：利用具有三维自组装能力的光刻图案超薄膜，能够制造出传统二维技术无法实现的具有功能和集成方案的微电子结构。在诸多微电子元件中，电感、变压器、天线和谐振器通常依赖于三维结构和与电磁场的相互作用，而当尺寸缩小到微米级时，制造工艺将呈指数级增长。本研究展示了功能结构的可控自组装方法。通过将超薄膜卷成圆柱形微电子器件，我们制造了电磁谐振器、电感和互耦线圈。这些器件的电性能纯粹通过将平面几何转化为圆柱形而有所改善，并且整体上将器件的占地面积缩小了50多倍。自组装微结构的应用对电子学有重要影响，能够减小尺寸，减少制造工艺，并通过三维成形提供丰富的新功能。
作者：Dmitriy D. Karnaushenko, Daniil Karnaushenko, Hans-Joachim Grafe, Vladislav Kataev, Bernd B"uchner and Oliver G. Schmidt
论文ID：1805.00656
分类：Applied Physics
分类简称：physics.app-ph
提交时间：2018-05-03