昆虫启发的毛细管亚微米印刷有序地拓扑图案化硅片
摘要：仿生昆虫的毛细管亚微米印章和随后的表面限制金属辅助化学蚀刻（MACE）使用氟化氢二氟铵作为HF源，用于高通量生产有序地形图案的硅（tpSi）。昆虫的脚通常具有毛细触点，通过其使用粘接分泌物。因此，粘接分泌物滴在接触表面上形成足迹阵列。仿生昆虫的毛细管亚微米印章具有表面带有接触元素的地形图案，模仿了这种昆虫脚的功能原理。它们包含穿透整个印章的多孔连续纳米孔网络。任何墨水（有机、水性）都可以从纳米多孔印章的背面供应到接触元素上。我们通过手动将AgNO3点有序地甩印在Si上，可以在几秒钟内在环境条件下实现循环时间延长mm^2；在更高的负载下可获得有序的多孔AgNO3薄膜。相应地，表面限制的MACE产生了具有大孔的tpSi或Si柱阵列。将聚合物溶液喷墨打印到tpSi上可以产生平面图案，覆盖tpSi。这样的墨斑图案可能成为在硅表面开发持久和耐刮花身份标签或QR代码的起点。
作者：Weijia Han, Peilong Hou, Shamaila Sadaf, Helmut Sch"afer, Lorenz Walder, Martin Steinhart
论文ID：1802.03245
分类：Applied Physics
分类简称：physics.app-ph
提交时间：2018-03-06