超紫外光镜面上锡滴污染的原地转化与清洗
摘要：金属锡滴污染通过相变诱导的方式被从多层涂层镜子上清除。金属锡的eta-alpha相转变被诱导以引发材料的脆化，并实现厚锡沉积物的轻松去除。必要的步骤在高真空条件下进行，以原位演示对用于反射极紫外光的光学元件上的严重金属锡污染的清除。高纯度的熔融锡滴滴到带有灰锡微粒小种子的镜子样品上，然后冷却到-25°C至-40°C的温度范围。根据摄影成像记录，这些滴液在真空室中通过诱导锡疫病转变迅速变成灰锡，并在几小时内解体。然后它们可以轻松地被清洗或从表面掉落，而不会对多层涂层造成任何损伤。用干燥气体喷雾清洗含有锡污染的镜子，几乎可以在一天内实现几乎完全的锡滴结构转变和去除。从图像评估清洗后样品上未转变的锡的面积覆盖率，通常在1%以下。锡滴滤，相变和清洗后，通过在13.6 nm和13.5 nm波长下进行测量的Mo/Si涂层镜子反射率分析仅显示减少了0.5%，上限为1%。
作者：Norbert B"owering and Christian Meier
论文ID：1801.06355
分类：Applied Physics
分类简称：physics.app-ph
提交时间：2023-05-03