芯片自感应增强对具有高效率的MEMS/NEMS的驱动
摘要：在芯片上实现任意谐振器的MEMS/NEMS传感器存在一些困难，如材料选择困难、能量耗散大、高频限制、低灵敏度、可靠性差和集成性差。我们展示了一种通用的芯片上传感方案，可适用于任何MEMS/NEMS谐振器。我们实现了所有电气上的芯片上MEMS/NEMS传感器，适用于任意谐振器。
作者：Meiyong Liao, Liwen Sang, Tokuyuki Teraji, Satoshi Koizumi and Yasuo Koide
论文ID：1712.02918
分类：Applied Physics
分类简称：physics.app-ph
提交时间：2018-05-21