摘要：回弹稳定性下的过阻尼MEMS器件的动力学机制的研究与讨论
作者：Michael Gomez, Derek E. Moulton, Dominic Vella
论文ID：1710.10485
分类：Applied Physics
分类简称：physics.app-ph
提交时间：2017-12-04
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