直接翻译：利用分光光度法和光谱椭偏法表征直流溅射制备的ITO、TiO2和TiO2：Nb薄膜的光学常数及其在光电子器件中的应用
摘要：薄膜的翻译比如说： 无机材料的薄膜，如锡掺杂氧化铟、钛酸盐、铌掺杂钛酸钛，在玻璃和聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）基底上使用直流溅射法进行沉积，以进行比较。这些薄膜通过不同的技术进行表征：Dektak表面测量仪、X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外/可见/近红外（UV/Vis/NIR）分光光度计和光谱椭偏仪（SE）。这些薄膜的光学参数，如透射率、反射率、折射率、消光系数、在不同电子跃迁下得到的能隙，以及复数（介电常数εr和εi）都在波长范围（200 - 2200）nm内进行了测定。结果与新的非晶态模型在1 nm的步长下在（0.56 - 6.19）eV范围内的SE测量结果进行了比较。对光学常数的SE测量进行了分析，并验证了（UV/Vis/NIR）结果的准确性。光学性质表明，这些薄膜在可见光范围（400 - 800）nm内具有良好的透射率。对于玻璃基底上的薄膜，ITO、TiO2、TiO2:Nb（NTO）的平均透射率分别为（86\%，91\%，85\%），而对于PET基底，透射率下降至（85\%，81\%，82\%）。对于所有这些材料，在玻璃基底上，直接跃迁的光学带隙分别为（3.53，3.3，3.6）eV，在PET基底上使用两种方法（UV和SE）测得。观察到的超薄膜的光学常数和厚度的比较与UV结果具有很好的一致性。所沉积的薄膜还通过XRD进行了分析，显示为非晶态结构。这些薄膜的结构形貌进行了研究和比较。
作者：Mohammed Rasheed, Regis Barille
论文ID：1710.04814
分类：Applied Physics
分类简称：physics.app-ph
提交时间：2017-11-22