玻璃和PET基底上的ZnO和Al:ZnO超薄膜的室温直流溅射沉积
摘要：用直流溅射法在300 K下制备了20 nm厚的氧化锌（ZnO）和掺铝氧化锌（AZO）的超薄膜，并分别沉积在玻璃和聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）基底上。采用(XRD)衍射仪对膜的结构形貌进行了分析。不同底物上沉积的膜的平均透射率在可见光谱范围内显示出高透明度（超过80\%）。本研究的目标是通过使用两种方法（UV-vis-NIR分光光度计和椭偏仪（SE）通过新的非晶结散射公式）对玻璃和PET基底上由DC溅射制备的ZnO和AZO超薄膜的厚度和光学常数进行研究，并与UV和SE测量得到的结果进行比较和确认。通过在（200-2200 nm）范围内以1 nm的增量提取和比较了膜的光学常数，以确认UV和SE技术的准确性，并显示了良好的一致性。
作者：mohammed rasheed, Regis Barille
论文ID：1710.03493
分类：Applied Physics
分类简称：physics.app-ph
提交时间：2017-10-11