MEMS梳状电静力传感器的侧向不稳定性分析

摘要:平面内重叠变换器的横向拉入效应的研究

作者:Binh Duc Truong, Cuong Phu Le and Einar Halvorsen

论文ID:1709.08771

分类:Applied Physics

分类简称:physics.app-ph

提交时间:2017-09-27

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