飞秒脉冲激光微加工玻璃基底及其在微流体器件中的应用
摘要：使用1660nm波长的紧束聚焦飞秒激光脉冲对玻璃基板进行表面和次表面微加工的技术。虽然硅酸盐玻璃在这个波长下通常是透明的，但是聚焦激光的极高强度会导致多光子吸收，从而在玻璃基板上产生局部烧蚀。烧蚀严格限制在焦点附近，剩余的基板不受影响。我们利用这种现象，在玻璃板上由同一激光加工的两个相邻坑之间的薄竖墙上钻一个微孔。因此，脉冲激光微加工的一个显著特点是其能够钻入玻璃基板的次表面通道和管道，这在传统光刻工艺中需要多个步骤。为了展示这种微加工技术的潜在应用，我们在玻璃板上制造了简单的微流体结构。为了防止开放的微通道和微腔中液体的蒸发，需要使用一个密封盖板，使其与基板的平坦表面点对点接触。如果流体要在芯片上的各个通道和腔室内保持密封，而不泄漏到相邻区域，这种点对点接触是必不可少的。本文还讨论了用于保护和密封微加工结构进行微流体应用的方法。
作者：M.S. Giridhar, Kibyung Seong, Axel Sch"ulzgen, Pramod Khulbe, Nasser Peyghambarian, and Masud Mansuripur
论文ID：1708.08140
分类：Applied Physics
分类简称：physics.app-ph
提交时间：2017-08-29