静态电容式压力传感：使用单个石墨烯鼓
摘要：使用纳米机械基于石墨烯的压力和气体传感器，有助于实现对悬浮石墨烯膜的静态位移的电气读出。在这些器件尺寸不断缩小的过程中，传统的微电子机械系统（MEMS）中常见的电容读出变得越来越具有挑战性，因为这种器件的响应灵敏度低于0.1 aF/Pa。为了克服检测小电容变化的挑战，我们设计了一种电气读出器件，该器件制造在绝缘石英衬底上，从而最大程度地增加了悬浮膜对于整个器件电容的贡献。通过减小间隙尺寸到110纳米，进一步增加了薄膜的电容。通过外加压力载荷，我们成功地检测到单个石墨烯膜的电容变化，最小到50 aF，压力差最小到25毫巴。
作者：Dejan Davidovikj, Paul H. Scheepers, Herre S. J. van der Zant and Peter G. Steeneken
论文ID：1708.05952
分类：Applied Physics
分类简称：physics.app-ph
提交时间：2017-08-22