氢丧失及其在氢等离子体处理的a-SiNx:H膜中的改善保留：100 MeV Ag7+ 离子的ERDA研究
摘要：100MeV Ag7+离子辐照下a-SiNx:H薄膜中氢的损失通过弹性反冲检测分析（ERDA）实验报告。结果基于分子复合模型的基本假设进行解释。ERDA氢计数由两个不同的氢脱附过程组成，即在辐照的初始阶段由于分子扩散快而受限的氢脱附过程，以及随着通量的逐渐增加，由于原子氢扩散受限而引发的较慢过程。前述过程中哪个占主导地位，是由薄膜中持续演化的氢浓度决定的。ERDA测量还对经过低温（300摄氏度）氢等离子体退火（HPA）处理的薄膜进行了。HPA处理的薄膜显示出较好的原子氢扩散，这是由于弱键愈合和悬挂键钝化引起的。此外，在HPA处理后，薄膜在先进通量下显示出氢的演化，计数明显高于原始沉积的薄膜。这些结果表明HPA对于改善a-SiNx:H薄膜中氢的保留具有潜力。该研究清楚地区分了a-SiNx:H中的两个扩散过程，其扩散速率相差一个数量级，氢自由基不能扩散到其产生点1nm之外。这些结果对于a-SiNx:H的钝化应用非常相关。
作者：R. K. Bommali, S. Ghosh, S. A. Khan and P. Srivastava
论文ID：1707.03554
分类：Applied Physics
分类简称：physics.app-ph
提交时间：2018-04-18