埋藏在氧化物和水中的铝CMOS互连线的扫描微波显微镜研究
摘要：在水中使用扫描型微波显微镜，我们对通过最先进的0.13微米SiGe BiCMOS工艺制造的铝和硅氧化物中的铝互连线进行了成像。将结果与在空气和水中使用原子力显微镜获得的结果进行了比较。发现水中的图像仅降质约60%。
作者：Xin Jin, Kuanchen Xiong, Roderick Marstell, Nicholas C. Strandwitz, James C. M. Hwang, Marco Farina, Alexander G"oritz, Matthias Wietstruck, Mehmet Kaynak
论文ID：1706.07538
分类：Applied Physics
分类简称：physics.app-ph
提交时间：2017-06-26