大规模晶圆尺寸下具有单层厚度控制的六方硼氮化物层的原子尺度结构和化学特征表征
摘要：CVD生长的大面积h-BN薄膜的结构和性质研究
作者：Wei-Hsiang Lin, Victor W. Brar, Deep Jariwala, Michelle C. Sherrott, Wei-Shiuan Tseng, Chih-I Wu, Nai-Chang Yeh, and Harry A. Atwater
论文ID：1705.07970
分类：Applied Physics
分类简称：physics.app-ph
提交时间：2017-05-24