外延定义的FinFET中的增强电路密度 (EDFinFETs) 相对于 FinFETs 的优势

摘要:Epitaxially Defined FinFET (EDFinFET)通过扩宽fin的宽度来减小LER基于VT的可变性。这项研究表明,尽管EDFinFET设备的占地面积约为FinFET的两倍,但在W/L为2及更高的基本构建块(如反相器或NAND门)上,EDFinFET可能产生相等或更高的电路密度。

作者:Sushant Mittal, Aneesh Nainani, M.C. Abraham, Saurabh Lodha, and Udayan Ganguly

论文ID:1604.04454

分类:Emerging Technologies

分类简称:cs.ET

提交时间:2016-04-18

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