原子层沉积的与CMOS兼容纳米光子集成后端的二阶非线性光学超材料
摘要：人工一维晶体的制备和展示有效的体二阶非线性。该晶体由三种介质材料的原子层沉积循环创建，使得所得到的变质材料在沉积方向上不对称。通过二次谐波生成Maker interference测量对这些结构进行表征显示，它们的非线性量子化学数张量的主要成分约为5 pm/V，与已建立的材料相当，并且比类似晶体报告的数值大一个数量级。我们的实验证明为CMOS兼容纳米光子平台上的二阶非线性效应打开了新的可能性。
作者：St''Ephane Clemmen, Artur Hermans, Eduardo Solano, Jolien Dendooven, Kalle Koskinen, Martti Kauranen, Edouard Brainis, Christophe Detavernier, Roel Baets
论文ID：1508.05275
分类：Optics
分类简称：physics.optics
提交时间：2023-07-19