电光微机电开关中集总参数静电致动器的性能分析与优化
摘要：电静力驱动夹持夹持梁和悬臂梁的设计和仿真，使用有限元分析方法（FEM）。本文提供了对各种偏压电压的详细研究和性能分析。对于不同尺寸的梁的拉入电压，以及对应的自然或主导模式和相应的特征值进行了研究，同时还研究了梁的位移，包括各种尺寸的夹持夹持梁和悬臂梁。通过广泛的仿真，得出了夹持夹持梁和悬臂梁的长度和宽度的结果。结果显示，拉入电压的变化范围为2348V到772V，自然频率的变化范围为102.92 KHz到916.35 KHz.
作者：D. Mohana Geetha, M. Madheswaran
论文ID：1002.2224
分类：Computational Physics
分类简称：physics.comp-ph
提交时间：2010-02-12