微机械金属-聚合物试样的微拉伸测试：弹性、塑性和破裂
摘要：微电子和微机电系统（MEMS）器件中使用的材料的机械特性是该研究的重点。为了确定其机械参数，开发了一种新的变形研究测试平台，并使用合适的微机械化样品进行了测试。对于“低成本”样品，进行了单轴拉伸实验，这些样品由电镀的薄铜膜和结构组成，沉积在聚合物衬底上。此外，还对相同的变形研究测试平台进行了压电致动器的循环机械激活测试。这些实验验证了该设备用于进行材料的动态特性研究和不同微结构的可靠性研究。
作者：C. Seguineau, M. Ignat (SIMAP), C. Malhaire (INSAT), S. Brida, X. Lafontan, J.-M. Desmarres, C. Josserond (SIMAP), L. Debove (SIMAP)
论文ID：0805.0942
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-12-18