一种新型的用于射频应用的四态高偏转低驱动电压静电MEMS开关
摘要：基于单个高可靠性完全自由柔性膜的新型电静电微纳机电系统（MEMS）被提出。利用四个电极，该结构可实现四种状态，可以以低激励电压（7.5V）实现大挠度（4μm）。这种设计还具有良好的接触力和结构的恢复力。作为应用示例，基于该设计的24GHz应用的单极双刀开关（SPDT）已进行了模拟。
作者：Renaud Robin, Salim Touati, Karim Segueni, Olivier Millet, Lionel Buchaillot (IEMN)
论文ID：0805.0934
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-12-18