由PZT驱动的高品质因数硅悬臂用于基于谐振的质量检测
摘要：高品质因子（Q因子）压电铅锆酸钛（PZT）激发的单晶硅悬臂梁在基于谐振的超灵敏质量检测中取得了突破。通过将PZT激发器与谐振结构分离，成功压缩了PZT薄膜的内在机械损耗从而实现能量耗散。在大气压力和减压条件下，均实现了优秀的Q因子，Q因子数倍于传统PZT悬臂梁。对于30微米宽100微米长的悬臂梁，Q因子在101.2 KPa和35 Pa压力下分别达到了1113和7279。此外，发现悬臂梁能够实现高模式振动以追求更高的Q因子，但由于激发点振幅的增加，支撑损耗变得显著。因此，建议采用节点-点激发的优化结构来抑制相应的能量耗散。
作者：Jian Lu, T. Ikehara, Yi Zhang, Takashi Mihara, Toshihiro Itoh, Ryutaro Maeda
论文ID：0805.0933
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-12-18