低压全自由柔性射频MEMS开关及防粘连系统
摘要：RF MEMS开关的新设计与创新工艺的结合是本文的研究重点，该设计可实现低激活电压 (<5V) 并避免粘着现象的发生。首先，本文介绍了结构及主要设计问题，并提出了相应的防粘着系统，并进行了有限元模拟。然后，简要介绍了基于两个非聚合物牺牲层的流程。最后，介绍了射频测量结果，并详细介绍了防粘着验证的初步实验方案和结果。在10 GHz处，该开关的射频性能为-30dB的隔离度和-0.45dB的插入损耗。
作者：Salim Touati, Nicolas Lorphelin, Alexandre Kanciurzewski, Renaud Robin (IEMN), A.-S. Rollier, Olivier Millet, Karim Segueni
论文ID：0805.0932
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-12-18