基于Cosserat理论的MEMS结构建模方法
摘要：MEMS的建模涉及各种软件工具，这些工具处理复杂几何结构的分析以及不同能量域和组件之间的各种相互作用的评估。此外，MEMS市场正在快速增长，但令人惊讶的是，在非线性范围内缺乏精确性能验证的建模和仿真方法。因此，提出了一种高效快速的建模方法，以满足MEMS系统的线性和非线性动态行为。
作者：Mustafa Calis, Omar Laghrouche, Marc Desmulliez
论文ID：0805.0931
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-12-18