MEMS设计的下一代TCAD环境

摘要:BICEP'S:一个用于产品规划和工艺模拟的集成CAD环境的最新版本

作者:Udo Triltsch, Stephanus B"uttgenbach

论文ID:0805.0926

分类:Other Computer Science

分类简称:cs.OH

提交时间:2008-12-18

PDF 下载: 英文版 中文版pdf翻译中