单芯片感应多种气体流动
摘要：一种能够检测和测量两个独立气体流量的热式流量计的制备和实验表征被描述。这个装置基于一个4 x 4 mm2的硅芯片，在这个芯片上，一系列差动微风仪与标准电子元件通过后处理技术集成在一起。该传感器的创新之处在于使用热粘合到芯片上的塑料适配器，只将气体流量传导到传感器所在的区域。证明了使用这种廉价的封装工艺将不同的传感结构包含在不同的流道中。
作者：P. Bruschi, M. Dei, M. Piotto
论文ID：0805.0892
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-12-18