零偏热电堆功率反馈的低漂移流量传感器
摘要：一种热流传感器的研究，由集成Al/poly-Si++热电堆和上下游Al加热电阻的游离悬浮型富硅氮化硅微通道组成。利用热电堆的零偏差特性，在反馈回路中控制加热电阻的耗电功率，消除薄膜金属电阻的电阻漂移和失配的影响。控制系统通过控制两个加热电阻之间的功率差来抵消流体引起的热电堆温差，从而提供流速的测量。对1.5ul/min以下的水流率进行了功率差测试，与传感器的热模型吻合良好，并验证了温度平衡控制系统的低漂移操作的正确性。
作者：M. Dijkstra, T.S.J. Lammerink, Meint De Boer, J.W. Berenschot, Remco Wiegerink, M. Elwenspoek
论文ID：0805.0891
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-12-18