电热驱动的多晶硅微致动器的几何变化分析
摘要：微型致动器的热力学和机械响应的分析模型已经得到了发展。这些模型基于对微梁的电热和热力学分析。此外，有限元分析 (FEA) 被用于评估微致动器尖端的挠曲。分析和有限元结果与文献中的实验结果进行了比较，发现在低输入电压下具有良好的一致性。在分析和有限元模型中引入了梁长度、梁长度比和间隙的尺寸变化，以探索微致动器的性能。本文研究了一种类似于Pan致动器架构的电热驱动多晶硅微致动器。这种微致动器通过对不同长度的热和冷多晶硅臂进行非对称加热来产生挠曲。对于这种微致动器架构，得到了一个最佳的梁长度比0.46，以达到最大的尖端挠曲。结果显示，与预期相比，空气间隙减小会增加微致动器尖端的挠曲。还发现，对于具有较长热臂的微致动器，微致动器尖端的挠曲对梁长度比和空气间隙更为敏感。
作者：M. Shamshirsaz, M. Maroufi, M.B. Asgari
论文ID：0805.0888
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-12-18