热辊压印用于微流控器件的制备
摘要：聚合物薄片的热辊压印用于制造微流体结构。在100微米的特征上进行的测量表明，横向尺寸可以在2%的容差范围内复制，而超过85%的模具深度被压印出来。已经实现了50微米的特征尺寸和30微米的特征深度。在较低温度下，观察到聚合物材料在压印区域外出现不对称的堆积，堆积在压印区域的后方更严重。
作者：Sum Huan Ng, Zhenfeng Wang
论文ID：0805.0887
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-12-18