通过表面功能化在PMMA微流控器上制造嵌入式微阀
摘要：PMMA-PDMS多层器件中的PMMA微流控通道与PDMS膜的气动驱动进行了集成。通过酸催化水解和空气等离子体处理，对PMMA基底进行表面功能化，作为将PMMA微流控通道与PDMS表面永久粘接的可能技术进行了研究。经过FTIR和接触角分析，功能化的PMMA基底表明空气等离子体处理最有效地诱导PMMA亲水性。随后的流体测试表明，经过空气等离子体改性和粘接的PMMA多层器件能够承受9 mircoliters/min的操作流速下的流体压力。通过光学显微镜和基于电阻的技术观察到了嵌入式PDMS膜的气动驱动。PDMS膜在仅为10kPa的气动压力下开始运动，对于100微米x 100微米的通道横截面完全阀门化的气动压力为14kPa。
作者：A. G. G. Toh, Z. F. Wang, S.H. Ng
论文ID：0805.0885
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-12-18