超声辅助电解制备微型探针的研究
摘要：使用一种实用的微加工技术，应用于通过复杂的非传统加工工艺制作微探头。采用了一系列工艺来加工钨碳化物棒，从原始尺寸3mm加工成50微米的固定尺寸。然后，通过电解加工将棒材加工至20微米的中间尺寸。最后，使用超声辅助电解加工可以实现最终所需的微小尺寸。利用这种方法可以轻松地获得高纵横比的微型钨碳化物棒。将超声辅助搅动和无搅动的电解过程中的样品表面粗糙度进行了比较。由于在电解过程中阳极电离的颗粒可以被超声辅助搅动去除，所以样品的加工表面非常光滑。通过电火花加工工艺，还可以利用加工过的高纵横比的钨碳化物棒来实现深度微孔。通过提出的超声辅助电解加工工艺，可以加工出球形末端的微探头。
作者：R.F. Shyu, Litsai Weng, Chi-Ting Ho
论文ID：0805.0868
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-12-18