微结构中大力和挠度的测量
摘要：典型MEMS材料的特性已经得到了广泛研究。MEMS结构的力学特性不仅取决于材料的基本特性，也取决于结构因素。为了研究一些结构特性，我们制作了一个测量系统来测量微结构的力/挠度。该系统是一个集成了负载传感器和线性执行器的针尖装置。首先，确定了测量系统的要求。然后建立和表征了该系统。我们成功地对一种典型的微机械结构进行了测量，即悬臂加速度计设计。我们在实验中调查了针尖放置的准确性、质量支撑中的弹簧常数、力/挠度曲线形状分析以及对悬臂进行的破坏性测试，并将在本文中进行介绍。
作者：Kai Axel Hals, Einar Halvorsen, Xuyuan Chen
论文ID：0805.0864
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-12-18