超声增强电沉积
摘要：高纵横比垂直互连（微通孔）填充的一种新颖方法是通过高频声学流动在超声频率范围内实现的。高频声学流动可以将纳滞层降低到亚微米范围，从而实现对深槽中的均匀电沉积。这种方法可以提高互连和金属微机电系统（MEMS）的生产效益，并且能更好地控制沉积性能。
作者：Jens Georg Kaufmann, Marc Desmulliez, D. Price
论文ID：0805.0860
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-12-18