多孔氧化铝基电容式微机电湿度传感器
摘要：低成本、可靠、低功耗和CMOS-MEMS工艺兼容的电容式湿度传感器的研发项目的目标是将其纳入最先进的无线传感器网络中。本文讨论了基于后CMOS MEMS工艺的新电容结构的制备以及用于表征薄膜多孔性氧化铝感应层的方法。平均灵敏度约为15 pF/RH%，比文献中的数值高了一个数量级。该传感器配备了集成的电阻加热器，可用于维护以减少漂移，或将感应层保持在高温下，作为消除温度依赖性的替代方法。
作者：L. Juhasz, A. Vass-Varnai, Veronika Timar-Horvath, Marc Desmulliez, Resh Dhariwal
论文ID：0805.0857
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-12-18