亚微米结构化莲花表面制造
摘要：使用亚微结构表面可以改变聚合物薄膜或组件的行为。特别是在微流体学领域，许多应用需要类似荷叶的特性。高纵横比的结构细节对于解耦功能层的底部和顶部是必要的。与随机方法不同，使用LIGA模具插入物进行图案化可以实现表面的非常均匀或具有可控变化（例如梯度）。在本文中，我们介绍了实现最小横向特征尺寸为400纳米和最高4微米的聚合物亚微结构的工艺链。
作者：M. Worgull, M. Heckele, T. Mappes, B. Matthis, G. Tosello, T. Metz, J. Gavillet (LETI), P. Koltay, H. N. Hansen
论文ID：0805.0854
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-12-18