摘要：一种用于电测微机电系统谐振器品质因数的结构设计研究
作者：H. Mathias (IEF), F. Parrain (IEF), J.-P. Gilles (IEF), S. Megherbi (IEF), M. Zhang (IEF), Ph. Coste (IEF), A. Dupret (IEF)
论文ID：0802.3767
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-02-27
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