热压模具中聚合物变形与恢复的研究
摘要：大区域微热压模具中，工艺温度对微结构形成的局部保真度和整体均匀性起着关键作用。低温热压模具的重要性在于提高压印器件的整体平整度。本文报告了在工艺温度低于或接近其玻璃化转变温度（Tg）时，微压模中聚合物变形和松弛的实验研究。在这项研究中，使用了缩进系统和微压模具来研究微结构形成与工艺温度和加载压力的关系。缩进深度被控制，并且在一定的缩进深度下测量了加载力。实验使用了厚度为1毫米的PMMA薄膜，工艺温度范围为Tg-55摄氏度至Tg+20摄氏度。压印结构包括单个微空腔和多个微空腔阵列。发现在Tg-55摄氏度的温度下，弹性变形主导了微结构的形成，并且压印后发生了显著的松弛。从Tg-20摄氏度到Tg，塑性变形主导了聚合物的变形，可以在PMMA基底上形成永久空腔而没有明显的松弛。然而，突出结构如微柱的形成不完全，因为聚合物流动很少。随着工艺温度的增加，可以在较低加载压力下形成微结构。考虑到单个微结构的保真度和压印基底的整体平整度，应该首选低工艺温度但具有良好保真度的微热压模具。
作者：X. C. Shan, Y. C. Liu, H. J. Lu, Z. F. Wang, Y. C. Lam
论文ID：0802.3106
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-02-22