具有最大六种设计流程的MEMS设计工具
摘要：这篇论文介绍了一种具有六种设计流程的MEMS设计工具，使得MEMS设计师能够选择最适合他们特定设备的设计流程。该设计工具分为三个层次，并通过六个接口相互连接。这三个层次分别是基于集总参数模型的系统级别、基于有限元分析的器件级别和工艺级别，涵盖了几乎所有MEMS设计的建模和仿真功能。这六个接口被用于在每两个层次之间自动传输设计数据，从而实现最多六种设计流程。这些接口分别使用电路图、实体模型和布局作为系统、器件和工艺级别的数据输入和输出。通过设计示例来展示和验证这些接口的实现，并证明设计流程中足够的灵活性确实可以增加设计效率。
作者：H. Chang, J. Xu, J. Xie, Ch. Zhang, Z. Yan, W. Yuan
论文ID：0802.3105
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-02-22