悬浮高Q螺旋电感器的设计与制造（带有X型梁）
摘要：设计和制作了与深亚微米CMOS工艺兼容的高品质芯片内螺旋电感器，采用了纳米电子和最大机械强度设计。为防止铜氧化，铜线上覆盖了电镀无电解镍。设计了Si3N4/SiO2 X型横梁来增加电感器在气隙中的机械强度。与传统螺旋电感器相比，这些结构中悬挂电感器的最大机械强度改善了4500多倍。在这些结构中，悬挂电感器的测量最大品质因数(Q)和最大品质因数的频率从传统螺旋电感器的5.2和1.6 GHz分别提高到7.3和2.1 GHz。
作者：M.C. Hsieh, D.K. Jair, Y.K. Fang, C.S. Lin
论文ID：0802.3104
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-02-22