"T形微悬臂谐振器的建模"
摘要：微机械谐振器的广泛研究和开发试图将这些设备用于高度敏感的应用。微悬臂是一种最简单的MEMS结构，已被证明是一个良好的平台，因为它具有出色的机械特性。动态工作的悬臂会根据谐振器的弹簧系数(k)和质量(m)的变化调整其共振频率。本研究的目标是对悬臂结构进行建模，以确定共振频率是由质量变化而不是刚度变化主导的最佳尺寸。为了验证模型，制备了一组微悬臂并进行了表征。
作者：M. Narducci, E. Figueras, I. Gracia, L. Fonseca, J. Santander, C. Can''e
论文ID：0802.3102
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-02-22