压阻双轴加速度计中的桥接配置
摘要：具有两个悬臂梁悬挂的两轴压阻加速度计中，有许多不同的配置韦斯顿电桥的方法。这些配置在功能和性能上是不同的。主要区别在于是否包含属于两个质量体的电阻的电桥和不包含的电桥之间。我们通过分析计算电桥的非线性、对制造变化的鲁棒性和电子噪声来比较不同的桥接配置。我们考虑了加速度计的灵敏度与垂直和平行于芯片平面的加速度的比例在很大范围内变化。我们使用n型硅的代表性值作为数值示例。将每个质量体连接到一个电桥的配置的性能优于将属于不同质量体的电阻组合在一起的配置。
作者：E. Halvorsen, S. Husa
论文ID：0802.3100
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-02-22