微型电容驱动微悬臂静态行为的实验表征
摘要：微电容式致动器被广泛应用于射频微电子机械系统设计和微尺度材料测试中。本研究通过实验证实了作者之前开发的数学模型，用于预测微电容式致动器（基本上是自由悬臂梁）的静态行为。研究初步探究了一组在平面内弯曲的微悬臂梁的静态行为，旨在区分小位移假设下的几何线性行为和大挠度引起的几何非线性行为。采用基于数值方法的耦合场方法预测了非线性地依赖于位移、电荷和电压的电-机耦合力，并通过Fogale Zoomsurf 3D进行了实验验证。模型性能通过拉取预测和位移-电压曲线进行评估。实际上，商业代码提供的基于耦合场方法的有限元非线性解和有限元非增量解与不同设计参数的线性解进行了比较。
作者：A. Ballestra, E. Brusa, M.G. Munteanu, A. Soma
论文ID：0802.3097
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-02-22