从微机电系统器件到智能集成系统
摘要：未来智能集成系统将需要微机械组件和传统电子设备的结合。在芯片上实现解决方案将是最终目标。一种制造这种系统的方法是在普通的CMOS工艺中实现机械部件。该过程已用于设计由谐振悬臂梁和CMOS Pierce反馈放大器组成的振荡器。如果外力使梁弯曲，谐振频率会发生变化。本文描述了该过程的主要特点，并强调了CMOS-MEMS振荡器的设计考虑因素。该电路被用作将来在芯片上制造集成微机械和微电子系统的“VLSI设计师”方式的示例。文中还对扩展到较大系统的可能性进行了评估。
作者：O. Soeraasen, J.E. Ramstad
论文ID：0802.3094
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-02-22