一种针对包含可移动元件的微机电系统（MEMS）器件的疲劳测试新方法

摘要：MEMS电容感应电路设计与实现

作者：Z. Szucs, M. Rencz

论文ID：0802.3091

分类：Other Computer Science

分类简称：cs.OH

提交时间：2008-02-22

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