压电微扫描器的建模
摘要：微扫描器已广泛应用于许多光学应用中。本文介绍的微扫描器使用多形式弯曲执行器倾斜一个方形平板镜。本文提供了压电微扫描器的完整分析模型。基于材料强度方程的理论模型计算了多形材料对镜子产生的力，结构的剖面以及镜子的角偏转量。所提出的模型用于优化压电硅微扫描器的设计，旨在进一步实现硬件描述语言的整合，从而实现系统级仿真和优化。
作者：A. Chaehoi, M. Begbie, D. Cornez, K. Kirk
论文ID：0802.3090
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-02-22