解决光电静电开关的功能可靠性问题
摘要：使用交流驱动信号驱动MEMS执行器相较于直流电压具有优势的研究报告
作者：H. Camon (LAAS), C. Ganibal (LAAS), N. Rapahoz, M. Trzmiel, C. Pisella, C. Martinez (LETI), K. Gilbert (LETI), S. Valette (LETI)
论文ID：0802.3075
分类：Other Computer Science
分类简称：cs.OH
提交时间：2008-02-22